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濺射法工藝生產(chǎn)"Low-E"玻璃,需一層純銀薄膜作為功能膜。純銀膜在二層金屬氧化物膜之間。金屬氧化物膜對(duì)純銀膜提供保護(hù),且作為膜層之間的中間層增加顏色的純度及光透射度。
用濺射法可以生產(chǎn)"Low-E"玻璃的廠家及產(chǎn)品有北美的英特佩公司的"LnplusNetetralR",PPG公司的Sungatel00,福特公司的SunglasHRS等。和高溫?zé)峤獬练e法不同,濺射法是離線的。且據(jù)玻璃傳輸位置的不同有水平及垂直之分。
垂直式生產(chǎn)工藝中,玻璃垂直放置在架子上,送入大的真空室內(nèi)。真空室內(nèi)的壓力將隨之減小。垂直安裝的陰極靶濺射出金屬原子,沉積到玻璃基片上,形成膜層。為了形成均勻一致的膜層,陰極靶靠近玻璃表面來(lái)回移動(dòng)。為了取得多層膜。***使用多個(gè)陰極,每一個(gè)陰極均是在玻璃表面來(lái)回移動(dòng),形成***的膜厚。
水平法在很大程度上是和垂直法相似的。主要區(qū)別在玻璃的放置,玻璃由水平排列的輪子傳輸,通過(guò)陰極,玻璃通過(guò)一系列銷定閥門之后,真空度也隨之變化。當(dāng)玻璃到達(dá)主要濺射室時(shí),鍍膜壓力達(dá)到,金屬陰極靶固定,玻璃移動(dòng)。在玻璃通過(guò)陰極過(guò)程中,膜層形成。
濺射法生產(chǎn)"Low-E"玻璃,具有如下特點(diǎn):
由于有多種金屬靶材選擇,及多種金屬靶材組合,因此,濺射法生產(chǎn)"Low-E"玻璃可有多種配置。在顏色及純度方面,濺射鍍也優(yōu)于熱噴鍍,而且,由于是離線法,在新產(chǎn)品開發(fā)方面也較靈活。較主要的優(yōu)點(diǎn)還在于濺射生產(chǎn)的"Low-E"中空玻璃其"u"值優(yōu)于熱解法產(chǎn)品的"u"值,但是它的缺點(diǎn)是氧化銀膜層非常脆弱,所以它不可能象普通玻璃一樣使用。它***要做成中空玻璃,且在未做成中空產(chǎn)品以前,也不適宜長(zhǎng)途運(yùn)輸。